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常见问题

为什么要在超纯水中添加气体?

发布时间: 2019-08-07
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     功能水是近年正在迅猛发展的新技术,即在超纯水中溶入少许药剂或气体而使其洗净效果大为提高的水,例如在超纯水中溶入适量的氢气和臭氧。

                                            

      一、氢气
      在超纯水中加入适量氢气,使其电阻率控制在14MΩ/cm,这种水用于硅材料的切、磨可避免静电问题。
      二、臭氧
      为了确保超纯水供水管网末梢在使用过程中细菌和TOC指标不超过相关要求,可在超纯水供水管网中添加臭氧来控制细菌和TOC指标。同时超纯水中少量的臭氧可以提高水的洗净效果。
      需要注意的是,由于臭氧在超纯水中分解速度较慢,半衰期为20~50分钟。回水中残存的臭氧如果进入超纯水系统会对树脂起氧化破坏作用,使树脂发生交联结构降解、体积膨胀、交换容量降低、颗粒破裂等现象,因此应当采用254nm的紫外线以催化分解的方式将回水中残存的臭氧去除掉,一般消除1mg/L臭氧残留所需的紫外线照射量为90000μw.s/cm2

 
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